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Filtermessung in Ihren Reinräumen

Im Reinraum kommen vor allem Schwebstofffilter und eine Vielzahl von Grob- und Feinstofffiltern zur Vorfiltration zum Einsatz. Zunehmend werden auch Adsorptionsfilter zur Abscheidung luftgetragener, gasförmiger Moleküle und Reduzierung von AMC (Airborne Molecular Containment) eingesetzt – insbesondere in der Halbleiterindustrie und der Pharma- und Medizintechnik.

Die Klassifizierung und Prüfung von Schwebstofffiltern basiert auf der europäischen Filterprüfnorm EN 1822. Maßgebend für die Einstufung ist der Abscheidegrad des Filters, der sich aus dem Mittelwert stichprobenartiger Messungen ergibt. Leistungsfähige Schwebstofffilter erreichen Abscheidegrade bis 99,99995%.

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Warum sind Filterwechsel notwendig?

Nach einer bestimmten Betriebsdauer nimmt das Leistungsvermögen der Filter zwangsläufig ab. Es wird ein Austausch bzw. Wechsel der Einheiten erforderlich, um die geforderte Partikelfreiheit der jeweiligen Reinraumklasse weiterhin zu gewährleisten. Wir beraten Sie gerne zu allen Fragen des Filterwechsels und führen diesen kontaminationsfrei für Sie durch.

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Die europäische Filterprüfnorm EN 1822-1:2009 unterscheidet drei Gruppen von Schwebstofffiltern:

  • Gruppe E: EPA-Filter – Hochleistungs-Partikelfilter (Efficient Particulate Airfilter)
  • Gruppe H: HEPA-Filter – Schwebstofffilter (High Efficiency Particular Airfilter)
  • Gruppe U: ULPA-Filter – Hochleistungs-Schwebstofffilter (Ultra Low Penetration Airfilter)

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Filter-Fan-Unit (FFU)

Mittels eines Ventilators saugen Filter-Fan-Units (FFU) Luft aus der Umgebung und dem Reinraum an und blasen diese gefiltert in einer definierten Qualität wieder in den Raum. Für diesen Zweck verfügen sie über einen Vor-Filter und einen Schwebstofffilter, der so ausgelegt wird, dass der definierte Abscheidegrad nach EN 1882 jederzeit zuverlässig erreicht wird. Die Komponenten sind kompakt in einem Gehäuse aus Aluminium oder pulverbeschichtetem Stahlblech verbaut. Optional im Gehäuse verbaute Kühler kühlen die rückströmende Luft trocken und kondensatfrei auf die gewünschte Temperatur herunter.

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Im Deckensystem wird eine entsprechende Anzahl an FFUs installiert und über eine zentrale Steuereinheit miteinander vernetzt. Auf diese Weise lassen sich im ganzen Raum dauerhaft die definierten Sollwerte für Temperatur und Luftströmung erreichen. Die genaue Position der FFUs ergibt sich aus dem Nutzungskonzept und der Prozessanordnung im Reinraum. Spezielle Abluftanlagen sorgen dafür, dass die eingeblasene Luft den Raum unter kontrollierten Bedingungen verlässt, und ermöglichen damit zusätzlich eine Kontrolle der Druckverhältnisse im Raum.

Darüber hinaus lassen sich einzelne FFUs auch dafür einsetzen, kleinste lokale Bereiche einer gewünschten Reinheitsklasse zuzuführen - und zwar unabhängig davon, welche Reinraumklasse für den gesamten Raum angestrebt wird.

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Die Vorteile eines auf FFUs basierenden Lüftungskonzepts liegen auf der Hand:

  • einfacher Ein- und Ausbau
  • problemlose Erweiterung
  • reinraumseitiger und werkzeugloser Filterwechsel
  • dauerhafte Sollwerte für Temperatur und Luftströmung

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Leckprüfung des Filterelements (Scan-Test)

Auch kleinste, mit dem Auge kaum wahrnehmbare Lecks führen aufgrund der ansonsten sehr hohen Abscheideleistungen zu lokal erhöhten Partikelkonzentrationen. Nur die regelmäßige Prüfung des Filters auf Leckfreiheit stellt einen störungsfreien Prozess sicher. Das Filterelement wird hierbei in einem standardisierten Verfahren (Scan-Test) bei Nennvolumenstrom mit einem Prüfaerosol DEHS (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat) beaufschlagt. Auf der Reinluftseite werden dann die lokalen Aerosolkonzentrationen gemessen. Der Filter gilt als leckfrei, wenn die Aerosolkonzentration die geforderten Grenzwerte an keinem Punkt überschreitet.

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